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全光谱椭偏仪SE950
光学原理：
光学原理：
光波从接触到光学组件表面，到离开光学组件表面的短暂时间里，其偏极状态（polarization state)一定会改变。椭圆偏光仪，既是一种用来量测光波穿透光学组件，或从光学组件表面反射前后偏极状态改变情形的仪器。
适用于各种功能材料的光学常数测量和光谱特性分析
应用领域：
微电子和半导体、平板显示、光电子、光伏太阳能电池、生物化学工程、光学镀膜、纳米技术、在线实时过程控制
产品特点：
1. 能精密测量膜厚及折射率
2. 波长范围波长范围：280-1050，可扩展为193nm-1700nm。
3. 测试精度：0.05nm
4. 测试厚度范围：1nm-90μm
